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Máquinas de grabado en obleas para la industria de la microelectrónica
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... plataforma y de la interfaz de usuario facilitará una transición fluida a los tamaños de oblea de 450 mm. La plataforma 9000 incorpora la nueva cámara de grabado por plasma de microondas ECR (resonancia ...
... El sistema de grabado de conductores de la serie M-8000 se utiliza para la máscara dura y el grabado de silicio para 32 nm y más allá. Hitachi High-Tech ha desarrollado nuevos flujos ...
... - Posibilidad de control de velocidad de grabado alta y baja - Soporte para obleas giratorio e inclinable. - Se pueden seleccionar muchos tipos de mandriles. - Tamaño compacto - Sistema de detección de ...
... APX300-S puede procesar obleas utilizadas en los mercados de dispositivos de potencia, filtros SAW, dispositivos de comunicación o sensores MEMS. Nuestra tecnología de fuente ICP de espiral múltiple (MS-ICP) permite ...
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