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Carrera: 500 mm
Repetibilidad: 0,05 µm
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- Controlador EBD-060310 incluido
- Recorrido: 500 µm
- Resolución: 5 nm / 31 nm
- Repetibilidad: 50 nm
- Compatible con la mayoría de mesas de escaneo Märzhäuser SCAN IM
- Conexión directa del controlador
Carrera: 100, 200, 300 mm
Velocidad: 5 mm/s
Repetibilidad: 0,015 µm - 0,02 µm
... situación de instalación en la cámara - Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 a petición) - Opcional con controlador FMC400/450 Posicionamiento nanométrico horizontal y vertical Este eje lineal de vacío es adecuado para ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Carrera: 10 mm
Velocidad: 5 mm/s
... situación de instalación en la cámara - Diseño para sala limpia ISO 14644-1 (hasta la clase 1 a petición) - Opcionalmente con controlador FMC400/450 Máxima estabilidad en el rango nanométrico, incluso en funcionamiento en seco El sistema ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
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