Platina de nanoposicionamiento compatible de vacío LA97 series

linealpiezoeléctrica1 eje

LA97 - Etapas y ejes lineales de vacío Etapa lineal nanométrica HV / UHV hasta 10E-11, 100 - 300 mm de recorrido, 0,02 µm de repetibilidad, hasta 10 kg de carga - Vacío: todas las áreas HV / UHV hasta 10E-11 mbar - Lubricación: líquida hasta 10E-8 mbar / seca hasta 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de cocción 120°C Configurable opcionalmente: - Disponibles versiones magnéticas, de bajo nivel magnético y sin imanes - Selección de materiales y lubricación por vacío adaptados a la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 a petición) - Opcional con controlador FMC400/450 Posicionamiento nanométrico horizontal y vertical Este eje lineal de vacío es adecuado para todos los rangos HV / UHV hasta 10-11mbar. Es de aplicación universal, ya que también puede utilizarse para tareas de posicionamiento vertical. Alcanza resoluciones extremadamente altas y la máxima rigidez en vacío. Dependiendo de la carga a mover, se pueden utilizar de 2 a 6 motores en disposición de pinza. Campos de aplicación Aplicaciones de escaneo de alta precisión, micromontaje, tecnología de semiconductores en ultra alto vacío y bajo radiación ultravioleta, cámaras de vacío, investigación, instrumentación de líneas de luz, montaje e inspección de productos electrónicos