Equipo de manipulación robotizado WHM

integradopara obleas

El WHM WaferHandling.Module desarrollado por Adenso con cámara de vacío central y WHR WaferHandling.Robot integrado está optimizado para la manipulación de sustratos/portadores en alto vacío. Nuestro WHM WaferHandling.Module funciona de forma completamente autónoma, ahorra espacio y puede acoplarse fácilmente a sus estaciones de proceso en funcionamiento ya completamente funcionales - ¡su herramienta Vacuum.Cluster está lista! Robot de manipulación de obleas WHR Cámara de vacío con 4 a 8 puertos Módulos.LoadLock.LLM STEALTH.CARRIER WAM Módulos.de.alineación.de.obleas FLP FOUP300 VAC.LOADPORT El robot Adenso WHR WaferHandling.Robot es el corazón de nuestra plataforma modular VAC.ROBOTICS. El Adenso.WHR realiza tareas de manipulación de sustratos sensibles y de gran tamaño en robótica de vacío (VacBot industrial) y está optimizado para una capacidad de carga máxima y grandes alcances. La sencilla geometría del brazo permite válvulas de compuerta pequeñas y áreas de rotación de manipulación compactas. Sus ventajas de un vistazo ALCANCE: Mayores distancias de desplazamiento - máxima flexibilidad CARGA: Máxima capacidad de carga - selección ilimitada de sustratos VÁLVULA DE COMPUERTA: Cinemática inteligente - válvula de compuerta más pequeña PIE: Cinemática que ahorra espacio - mínimo espacio de instalación COMPLEJIDAD: Con Adenso, todo es sencillo: ¡ahorre espacio y dinero!