Generador de plasma programable eVerest RF

radiofrecuencia

A medida que la industria de semiconductores acelera hacia una nueva inflexión, el generador de RF eVerest® satisface la necesidad de un control de plasma transformador. Su pulsación multinivel configurable permite una temporización de transición instantánea o definida por el usuario. Además, la sintonización de frecuencia basada en modelos de alta velocidad y gran precisión con un amplio rango de barrido de frecuencia proporciona una mayor estabilidad y control del proceso. Estas funciones, junto con una respuesta más rápida al punto de ajuste, un sobreimpulso controlado al principio de los estados de pulsación y la sofisticada inteligencia IoT PowerInsight by Advanced Energy™, potencian la innovación de procesos para el siguiente nodo tecnológico. Características Sistema de entrega de RF completo, múltiples opciones de soluciones de adaptación y sincronización inteligente Velocidad y control dentro de perfiles de pulsos multinivel programables Respuesta de salida de RF de alta velocidad y tiempos de subida/caída del estado de pulso Rango de sintonización de frecuencia de hasta ±10 Estabilidad dP/dZ integrada Ecosistema de IoT PowerInsight de Advanced Energy Ventajas Permite el desarrollo de procesos novedosos para perfiles de deposición y grabado de < 2 nm Proporciona un encendido fiable con estabilidad de RF independiente de la longitud del cable Se integra a la perfección en cualquier sistema de plasma Aumenta el espacio de proceso y amplía la ventana de estabilidad Respaldado por el soporte mundial de productos y aplicaciones de los centros de servicio locales