Generador de plasma radiofrecuencia eVerest RF

A medida que la industria de los semiconductores acelera hacia una nueva inflexión, el generador de RF eVerest™ satisface la necesidad de un control de plasma transformador. Su pulsación multinivel configurable permite una temporización de transición instantánea o definida por el usuario. Además, la sintonización de frecuencia basada en modelos de alta velocidad y alta precisión con un amplio rango de barrido de frecuencia proporciona una mayor estabilidad y control del proceso. Estas funciones, junto con una respuesta de consigna más rápida, un sobreimpulso controlado al inicio de los estados de pulsación y la sofisticada inteligencia de IoT PowerInsight by Advanced Energy™, potencian la innovación de procesos para el siguiente nodo tecnológico. - Sistema completo de suministro de RF, múltiples opciones de soluciones de adaptación y sincronización inteligente - Velocidad y control dentro de perfiles de pulsos multinivel programables - Respuesta de salida de RF de alta velocidad y tiempos de subida/caída del estado de pulso - Rango de ajuste de frecuencia de hasta ±10 - Estabilidad dP/dZ integrada - Ecosistema de IoT PowerInsight de Advanced Energy - Permite el desarrollo de procesos novedosos para perfiles de deposición y grabado de < 2 nm - Proporciona un encendido fiable con estabilidad de RF independiente de la longitud del cable - Se integra a la perfección en cualquier sistema de plasma - Aumenta el espacio de proceso y amplía la ventana de estabilidad - Respaldado por el soporte mundial de productos y aplicaciones de los centros de servicio locales