Máquina pulidora para metales POLI-400L

de precisióncon mesa rotativade pequeña escala

La POLI-400L es una máquina de pulido químico-mecánico de pequeño tamaño para 4 y 6 pulgadas, que adopta el método de carga manual, utiliza una bolsa de aire de membrana para aumentar la presión de forma flexible, y puede ser equipada con un sistema de monitorización de la fuerza de fricción y del punto final de la temperatura, se utilizan para el pulido de planarización de óxidos, metales, STI, SOI, MEMS y otros productos. Las aplicaciones son amplias. Funciones completas Poner la presión de la membrana en la oblea, la placa de pulido tiene un sistema de refrigeración incorporado, el brazo giratorio vestidor y la fricción y la detección de la temperatura de la función de control de punto final es opcional Operación simple Sistema de control por PC, control por pantalla táctil, carga manual, pulido CMP automático con un solo botón. Buena compatibilidad 3 tuberías de suministro de lodo independientes, placa de pulido fácil de reemplazar, cabezal de pulido de 4 o 6 pulgadas reemplazable, compatible con diferentes tamaños y tipos de obleas. Pequeño espacio en el suelo Minimiza el espacio de la sala limpia.