Máquina pulidora para metales POLI-500

semiautomáticade precisióncon mesa rotativa

La POLI-500 es una pequeña máquina de pulido químico-mecánico de 8 pulgadas, que adopta el método de carga manual, puede equiparse opcionalmente con una paleta de carga semiautomática, utiliza una bolsa de aire de membrana para aumentar la presión de forma flexible, y puede equiparse con un sistema de monitorización de la fuerza de fricción y el punto final de la temperatura, utilizado para el pulido de planarización de óxidos, metales, STI, SOI, MEMS y otros productos. Las aplicaciones son amplias. Funciones completas Pone la presión de la membrana en la oblea, la placa de pulido tiene un sistema de refrigeración incorporado, el brazo giratorio vestidor y la función de monitoreo del punto final de detección de la fricción y la temperatura es opcional. Operación simple Sistema de control de PC, control de pantalla táctil, paleta de carga semiautomática es opcional, pulido CMP automático de un botón. Buena compatibilidad 3 tuberías independientes de suministro de lodo, placa de pulido fácil de reemplazar, cabezal de pulido reemplazable de 4, 6 y 8 pulgadas, compatible con diferentes tamaños y tipos de obleas. Pequeño espacio en el suelo Minimiza el espacio de la sala limpia.