COBRA DS 0600 E
Diseño de tornillo avanzado
Eficiente:
bajos costos de operación, mantenimiento mínimo, alto tiempo de funcionamiento
Flexible:
orientado a la aplicación
Tiempos de proceso cortos:
debido a las altas velocidades de bombeo
Diseño compacto
El COBRA DS 0600 E es una bomba de vacío de tornillo seco de la probada serie COBRA DS. Sus altas velocidades de bombeo, incluso en condiciones en las que se requiere un alto rendimiento de hidrógeno, hacen que las bombas de vacío de tornillo COBRA DS sean ideales para todos los procesos exigentes en la producción de células fotovoltaicas, paneles planos y semiconductores. La tecnología de vacío de tornillo COBRA DS de última generación permite la evacuación de medios cargados de polvo y partículas.
Las bombas de vacío de tornillo seco COBRA DS presentan una compresión seca, un perfil de tornillo especialmente desarrollado y una descarga de gas sin impedimentos. El resultado es un alto grado de tolerancia al vapor y a las partículas. Los tornillos se fabrican con una fundición de una sola pieza que evita cualquier hueco, haciendo imposible la entrada de fluidos de proceso o partículas, y por tanto evitando la corrosión.
Equipado con un motor de alta eficiencia, el COBRA DS 0600 E ofrece una excelente eficiencia energética. Con bajos requerimientos de mantenimiento, bajos costos de operación, un tiempo de funcionamiento muy alto y un largo ciclo de vida, el costo total de propiedad es muy bajo, estableciendo el estándar en esta clase de rendimiento.
La adaptación de esta bomba de vacío de tornillo a los sistemas existentes se puede realizar de forma rápida y sencilla gracias a un diseño de encaje en el lugar.
Aplicaciones
CVD de plasma de alta densidad (HDP-CVD)
Procesamiento térmico rápido (RTP)
CVD subatmosférico (SACVD)
CVD metal-orgánico (MOCVD)
CVD mejorado con plasma (PECVD)
CVD de baja presión (LPCVD)
Depósito de la capa atómica (ALD)
Bloqueo de carga de alta capacidad
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