COBRA DS 0080 / 0160 G
Diseño de tornillo avanzado
Eficiente:
rentable, mantenimiento mínimo, alto tiempo de funcionamiento
Flexible:
orientado a la aplicación
Tiempos de proceso cortos:
debido a las altas velocidades de bombeo
Robusto:
recubrimiento anticorrosivo de los componentes internos
Diseño compacto
COBRA DS 0080/0160 G son bombas de vacío de tornillo seco de la probada serie COBRA DS. Sus altas velocidades de bombeo, incluso en condiciones en las que se requiere un alto rendimiento de hidrógeno, hacen que las bombas de vacío de tornillo COBRA DS sean ideales para todos los procesos exigentes en la producción de células fotovoltaicas, pantallas planas y semiconductores. La moderna tecnología de la bomba de vacío de tornillo COBRA DS permite la evacuación de medios cargados de polvo y partículas.
Las bombas de vacío de tornillo seco COBRA DS se caracterizan por una compresión seca, un perfil de tornillo especialmente desarrollado y una descarga de gas sin impedimentos. El resultado es un alto grado de tolerancia al vapor y a las partículas. Los tornillos están fabricados en una fundición de una sola pieza que evita cualquier hueco, haciendo imposible la entrada de fluidos de proceso o partículas, y por lo tanto evitando la corrosión.
Equipado con motores de alta eficiencia, el COBRA DS 0080/0160 G ofrece una excelente eficiencia energética. Gracias a los bajos requisitos de mantenimiento, los bajos costes de funcionamiento, un tiempo de actividad muy elevado y un largo ciclo de vida, el coste total de propiedad es muy bajo, lo que establece el estándar en esta clase de rendimiento.
La adaptación de estas bombas de vacío de tornillo a los sistemas existentes se puede realizar de forma rápida y sencilla gracias a un diseño de montaje en el lugar.
Aplicaciones
CVD de plasma de alta densidad (HDP-CVD)
Procesamiento térmico rápido (RTP)
CVD subatmosférico (SACVD)
CVD metal-orgánico (MOCVD)
CVD mejorado con plasma (PECVD)
CVD de baja presión (LPCVD)
Deposición de la capa atómica (ALD)
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