Espectrómetro cuadripolar AKONIS

IMSde procesopara la industria de los semiconductores

SIMS completamente automatizado para la fabricación de semiconductores de alto volumen La herramienta AKONIS SIMS llena un vacío crítico en los procesos de fabricación de semiconductores al proporcionar una detección de alto rendimiento y alta precisión para perfiles de implantes, análisis de composición y datos de interfaz permitiendo la fabricación de semiconductores de alto volumen. AKONIS ofrece un nivel muy alto de automatización para garantizar la repetibilidad entre las herramientas para el control de procesos a nivel de fabricación y la compatibilidad de herramienta a herramienta. Complementando el IMS Wf/SC Ultra, así como el SIMS 4550 (SIMS cuádruple) utilizado para apoyar a la industria de semiconductores a través de laboratorios de caracterización, AKONIS, con automatización completa de la configuración de instrumentos y las rutinas de adquisición, permite un análisis rápido dentro de la fábrica sin comprometer la sensibilidad analítica. AKONIS se beneficia del desarrollo reciente de la tecnología de columna iónica de energía de impacto EXtremadamente baja (EXLIE) (<150 eV), junto con un sistema completo de gestión de discos que incluye una etapa de alta resolución para tomar mediciones en almohadillas de hasta 20 μm. El capacitador de alto rendimiento en N5 y más allá Composición de alta resolución y perfil rápido de profundidad dopante de pilas multicapa SiGe y SiP Inigualable en los límites de detección de almohadillas de hasta 20 μm