El microscopio confocal de la serie VT6000 es un instrumento para medir la superficie de diversos dispositivos y materiales de precisión a nivel micro y nanométrico. Utiliza la tecnología confocal como principio, combina el módulo de escaneo Z de precisión y el algoritmo de modelado 3D para llevar a cabo el escaneo sin contacto en la superficie del dispositivo y establecer imágenes 3D de la superficie. A través del software del sistema, lleva a cabo el procesamiento y análisis de datos en la imagen 3D de la superficie del dispositivo, y obtiene parámetros 2D y 3D que reflejan la calidad de la superficie del dispositivo. Por lo tanto, puede realizar el instrumento de detección óptica para la medición 3D de la topografía de la superficie del dispositivo. Puede medir todo tipo de superficies, de lisas a rugosas, de baja reflectividad a alta reflectividad, rugosidad, planitud, perfil microgeométrico y curvatura de la pieza de trabajo de nano a micrón, etc., y proporcionar más de 300 tipos de parámetros 2D y 3D como estándares de evaluación de acuerdo con ISO/ASME/EUR/GBT cuatro normas nacionales y extranjeras.
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