Perfilómetro con estilete NS200

para medición de la rugosidad superficialpara controlde laboratorio

El perfilador nano por palpador NS200 es un instrumento de medida por contacto para rugosidad superficial, medición de perfil microscópico, altura de paso micro-nano y espesor de película. Emplea un sensor de desplazamiento sub-ångström, adquisición de señal de muy bajo ruido, control de movimiento de alta precisión y algoritmos de calibración avanzados, proporcionando fuerzas de contacto muy pequeñas y aplicabilidad a diferentes reflejos superficiales, materiales y durezas — adecuado para inspección en semiconductores, LED, solar, MEMS, pantallas táctiles, automoción y equipo médico.

Aplicación

• Semiconductor
  • Altura de paso de película depositada
  • Altura de paso de resist de película delgada
  • Medición de tasa de grabado
• Sustrato grande
  • Protrusión y altura de paso de PCB
  • Revestimiento de ventanas
  • Máscara de oblea
  • Revestimiento del chuck de oblea
  • Placa de pulido
• Sustrato de vidrio y pantallas
  • AMOLED
  • Medición de altura de paso durante el desarrollo de pantallas LCD
  • Medición de espesor para película de panel táctil y películas finas de recubrimiento solar
• Película en componentes flexibles
  • Fotodetector orgánico
  • Películas orgánicas impresas en película y vidrio
  • Trazas de cobre en pantallas táctiles

Características / especificaciones técnicas

• N.º de modelo: NS200 (también disponible NS200-D)
• Observación de la muestra - Vista frontal: cámara color 5MP F.O.V. 2.2 × 1.7 mm (NS200) / cámara color 5MP F.O.V. 10 × 13.4 mm (NS200-D)
• Observación de la muestra - Vista lateral: cámara color 5MP F.O.V. 2 × 2.68 mm (NS200-D), no aplicable a NS200
• Sensor: LVDC de inercia ultra‑baja
• Fuerza de medición: 1–50 mg ajustable
• Estilete: radio de punta 2 μm, ángulo 60°
• Recorrido XY: X/Y motorizados 150 mm × 150 mm, nivelación ajustable manualmente
• Etapa R-θ de muestra: motorizada, rotación continua 0–360°
• Chuck de vacío: chuck de vacío de 6 pulgadas
• Longitud de escaneo única: 55 mm
• Rango máximo de escaneo: 150 mm (recorrido XY) + 55 mm rango de escaneo; rango máximo 8"
• Altura máxima de muestra: 50 mm
• Tamaño máximo de oblea: 200 mm (8")
• Repetibilidad de altura de paso*: 5 Å @ rango 330 μm / 10 Å @ rango 1 mm (medida altura 1 μm, 1δ)
• Rango del sensor: 330 μm o 1050 μm (la sonda de 330 μm es magnética; elegir 330 μm salvo que se requiera rango ultra‑grande)
• Velocidad de escaneo: 2 μm/s a 10 mm/s
• Puntos máximos de muestreo por escaneo: 12 000
• Tamaño (L × W × H): NS200: 640 × 610 × 500 mm; NS200-D: 640 × 650 × 530 mm
• Peso: 40 kg
• Entrada: AC 100–240 V, 50/60 Hz, 200 W
• Entorno de trabajo: Humedad 30–40% RH (sin condensación); Temperatura 16–25 °C (fluctuación < 2 °C/h); Vibración del suelo: 6.35 μm/s (1–100 Hz); Ruido audible ≤ 80 dB; Flujo laminar de aire ≤ 0.508 m/s (flujo descendente)
• Notas: Datos de repetibilidad medidos en laboratorio estándar VC-C con mesa antivibraciones; si no se cumplen estas condiciones, los datos de repetibilidad se duplicarán.