Las opciones de metrología complementarias de CIMS están diseñadas para mejorar aún más las capacidades de inspección de los dispositivos semiconductores. Estas opciones pueden integrarse en los equipos de CIMS, lo que ofrece un nuevo nivel de garantía de calidad para nuestros clientes.
Las opciones complementarias de CIMS incluyen capacidades únicas de metrología en 2D y 3D que permiten realizar mediciones avanzadas durante el ciclo de inspección habitual. Esto elimina la necesidad de contar con sistemas de metrología específicos fuera de línea y acorta el ciclo de retroalimentación del control de calidad.
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