Sensor de gas NDIR Gasboard-2060

para monitor de purificación de gases con semiconductoranalógicocon salidas de tensión

Descripción general
El Gasboard-2060 es un sensor de gas SiF4 de alto rendimiento diseñado para la detección en tiempo real del punto final de limpieza (EPD) en cámaras de deposición CVD a base de silicio. Basado en la tecnología infrarroja no dispersiva (NDIR) con una cámara de gas especialmente diseñada, proporciona una medición altamente selectiva y precisa de la concentración de SiF4 en los procesos de limpieza de cámaras de semiconductores. Gasboard-2060 monitoriza la concentración de SiF4 en tiempo real, permitiendo una indicación rápida y precisa del punto final de limpieza para reducir el tiempo de limpieza y el consumo de gas, al tiempo que minimiza el desgaste de la cámara y prolonga la vida útil de los componentes. Su diseño modular facilita la instalación y admite funciones de calibración y ajuste para una integración y mantenimiento cómodos.

Funciones

• Tecnología NDIR para una medición sensible y precisa de SiF4.
• Respuesta rápida para la determinación precisa del punto final de limpieza de la cámara de deposición.
• Baja deriva cero y alta repetibilidad para un rendimiento de medición constante.
• Diseño modular para una fácil integración e instalación en el sistema.
• Salidas de comunicación analógicas y digitales para una interfaz flexible.

Especificaciones
Medición: SiF4
Principio de detección: NDIR
Rango: (0.0-0.2) Absorbance
Tiempo de respuesta: T90＜2s
Tasa de informe de datos: 0.5s
Salida analógica: 1-10VDC
Entrada de alimentación: 15VDC (≤300mA), 24VDC
Comunicación digital: RS232
Puerto de muestreo: KF16
Dimensiones: 200×120×75.5mm
Tasa de fugas: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
Temperatura de funcionamiento: (5～65) ℃

Especificaciones técnicas

• Medición: SiF4
• Principio de detección: NDIR
• Rango: (0.0-0.2) Absorbance
• Tiempo de respuesta: T90＜2s
• Tasa de informe de datos: 0.5s
• Salida analógica: 1-10VDC
• Entrada de alimentación: 15VDC (≤300mA), 24VDC
• Comunicación digital: RS232
• Puerto de muestreo: KF16
• Dimensiones: 200×120×75.5mm
• Tasa de fugas: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
• Temperatura de funcionamiento: (5～65) ℃