Sensor de gas NDIR Gasboard-2061

para medición de procesospara monitor de purificación de gases con semiconductordigital

Descripción del producto
Gasboard-2061 es un sensor de gas NDIR WF6 diseñado para la detección en tiempo real del punto final de limpieza en cámaras de depósito CVD de tungsteno (WCVD). Mide la concentración de WF6 con sensibilidad y estabilidad en condiciones de proceso, permitiendo indicar el fin de la limpieza para reducir el tiempo de limpieza, limitar el uso excesivo de gas y minimizar el desgaste de la cámara.

Gasboard-2061 tiene un diseño modular y compacto para una instalación sencilla. Soporta interfaces analógicas y digitales y permite calibración y ajustes para facilitar su integración en sistemas de control de proceso.

Características

• Tecnología NDIR optimizada para la monitorización de WF6.
• Respuesta rápida para el seguimiento en tiempo real de cambios de concentración.
• Baja deriva cero y alta repetibilidad para resultados consistentes.
• Diseño sellado adecuado para funcionamiento en vacío.
• Construcción en 316L resistente a ambientes de proceso corrosivos.
• E/S analógicas y digitales para integración y mantenimiento.

Especificaciones
Componente medido: WF6
Rango: 0–200 mTorr
Repetibilidad: ±0,5 %
Precisión: ±1 % F.S.
Tensión de funcionamiento: 24 VDC
Corriente de funcionamiento: 1,5 A (máx)
Salida analógica: 0–5 VDC (4 canales) o 4–20 mA (4 canales)
Entrada analógica: 0–10 VDC (1 canal)
Salida digital: 4 canales; Entrada digital: 1 canal
Comunicación: RS485
Puerto de muestreo: NW25
Tasa de fuga: ≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s (He)
Temperatura ambiente de funcionamiento: 20–35 ℃

Notas

• Todos los datos se miden a presión atmosférica estándar.
• Los gases de calibración son suministrados por instituciones certificadas por autoridades nacionales de metrología; los gases están diluidos en nitrógeno seco con pureza del 99,999 %.
• Los valores de rendimiento se dan tras calibración; cada sensor se calibra al 100 % en producción.
• Las mediciones se realizan a 25 ℃ salvo indicación en contrario.

Especificaciones técnicas

• Componente medido: WF6
• Rango: 0–200 mTorr
• Repetibilidad: ±0,5 %
• Precisión: ±1 % F.S.
• Tensión de funcionamiento: 24 VDC
• Corriente de funcionamiento: 1,5 A (máx)
• Salida analógica: 0–5 VDC (4 canales) o 4–20 mA (4 canales)
• Entrada analógica: 0–10 VDC (1 canal)
• Salida digital: 4 canales; Entrada digital: 1 canal
• Comunicación: RS485
• Puerto de muestreo: NW25
• Tasa de fuga: ≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s (He)
• Temperatura ambiente de funcionamiento: 20–35 ℃