Horno de recocido TubeStar
de pirólisistubulareléctrico

horno de recocido
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Características

Función
de recocido, de pirólisis
Configuración
tubular
Fuente de calor
eléctrico
Atmósfera
de vacío, en atmósfera controlada, de gas inerte, de nitrógeno, de hidrógeno
Otras características
automático, compacto, programable, horizontal, a medida, de laboratorio, industrial, para la industria electrónica, para circuito impreso
Temperatura máxima

Máx.: 1.200 °C
(2.192 °F)

Mín.: 0 °C
(32 °F)

Descripción

La plataforma de hornos TubeStar es un horno tubular compacto de tipo discontinuo. Esta plataforma está dedicada a aplicaciones de difusión, oxidación y deposición y se ha diseñado para satisfacer las necesidades de la ingeniería de procesos. La gama TubeStar es modular y flexible. En efecto, puede estar compuesta de 1 a 4 tubos independientes, con una capacidad de 50 obleas por tubo. VENTAJAS Y BENEFICIOS La plataforma de hornos TubeStar destaca en el tratamiento de pequeñas cantidades de obleas, pero también se adapta bien al tratamiento de grandes lotes gracias a su flexibilidad. Han demostrado su eficacia durante la cualificación de cambios de proceso, como en las líneas de fabricación fotovoltaica. Una de las características clave de este horno tubular reside en la precisión del tratamiento térmico combinada con altos niveles de flexibilidad de ajuste. Esto permite un amplio espectro de aplicaciones. APLICACIONES POSIBLES Difusión LPCVD Oxidación

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