Solvente de limpieza

para los residuos de grabado

Limpiadores acuosos postgrabado compatibles con aluminio, cobre y aleaciones metálicas avanzadas, capas antirreflectantes, SiO2 y dieléctricos ultrabajos-k Limpiadores acuosos postgrabado altamente eficaces compatibles con procesos BEOL de Al, Cu y ultrabajo-k. Características y ventajas Amplia latitud de proceso Compatible con aplicaciones de pulverización y herramientas por lotes Coste de propiedad superior al de los limpiadores con disolventes - Enjuague directo con agua desionizada Elimina el coste añadido de los productos químicos de aclarado y aumenta el rendimiento al eliminar los pasos químicos Seguro y fácil de usar Compatible con materiales avanzados de equipos de proceso Compatibilidad superior con metales, ILD y ULK La pureza del producto se verifica continuamente mediante el uso de herramientas analíticas de última generación Fabricado y envasado en plantas de EE.UU. y Asia Diferentes grados en función del tipo de agente grabador Algunos productos se ofrecen con o sin tensioactivo Consulte nuestro resumen de aplicaciones para conocer los distintos tipos de grabadores Opciones de envasado: botellas de 4 x 4L bidones de 200 litros (de un solo uso o retornables) contenedores de 1000 litros (unidireccionales o retornables) Entrega a granel (depende de la ubicación)