Equipo de detección de gas para inspección de semiconductores D-ReX PoS²

para uso industrialpara la supervisión de procesosde detección

Overview
El D-ReX PoS² es un sistema compacto de detección de gases diseñado para entornos de fabricación de semiconductores. Integra una bomba interna que toma la muestra en el punto de muestreo (PoS) desde distancias de hasta ~30 m y admite montaje en pared o riel DIN. Las opciones de conectividad incluyen Power over Ethernet (PoE), 4–20 mA y Modbus (RS-485).

USPs

• Mantenimiento sin herramientas: el frontal se abre sin herramientas para un acceso rápido al cartucho del sensor y al mecanismo de la bomba.
• Muestreo remoto: bomba integrada con capacidad de línea de muestreo para espacios reducidos y puntos de muestreo distribuidos.
• Integración flexible: PoE, 4–20 mA y Modbus (RS-485) para conexión sencilla a sistemas de control superiores.

Features

• Monitorización de integridad de línea opcional
• Pantalla color 2,4" TFT para identificación del gas, concentración y estado del equipo
• Tres relés internos conmutables unipolares, programables libremente
• Comunicación: Ethernet (PoE), 4–20 mA, Modbus (RS-485)

Designed for semiconductor fabs
El equipo admite muestreo desde tuberías, sistemas de distribución de gas, zonas de almacenamiento, depuradores y salas limpias. Para gases que requieren pirólisis está disponible el módulo opcional Py‑ReX. Los cartuchos de sensores se suministran preconfigurados y son reemplazables; el casete del sensor y la electrónica de la bomba se reutilizan al cambiar piezas de desgaste.

Information & operation
La pantalla de 2,4" muestra la identidad del gas, la concentración medida, el estado del dispositivo y las fallas en texto claro. Tres relés internos pueden programarse para activar alarmas externas o acciones de seguridad. El funcionamiento en red se admite mediante LAN con PoE (10/100 Mbit/s) y Modbus (RS-485); la salida analógica se proporciona vía 4–20 mA.

Detectable semiconductor process gases (typical)
Amoníaco (NH3), Cloruro de hidrógeno (HCl), Fluoruro de hidrógeno (HF), Hidrógeno (H2), Silano (SiH4), Diclorosilano (DCS), Arsina (AsH3), Fosfina (PH3), Diborano (B2H6), Seleniuro de hidrógeno (H2Se), Germanio hidruro (GeH4), Trifluoruro de cloro (ClF3), Flúor (F2), Ozono (O3), Bromuro de hidrógeno (HBr), Cianuro de hidrógeno (HCN), Hexametildisilazano (HMDS), Tetraetilortosilicato (TEOS).

Technical specifications

• Model: D-ReX PoS²
• Sampling: bomba integrada con capacidad de línea de muestreo (hasta ~30 m)
• Installation: montaje en pared o riel DIN
• Service: acceso frontal sin herramientas; sustitución sin herramientas del cartucho de sensor y del mecanismo de la bomba
• Sensores compatibles: electroquímicos, catalíticos, infrarrojos, PID (cartuchos preconfigurados)
• Display: 2,4" color (TFT)
• Relays: tres relés internos programables (conmutación unipolar)
• Analog output: 4–20 mA
• Digital communication: Modbus (RS-485)
• Network / Power: Power over Ethernet (PoE), Ethernet 10/100 Mbit/s
• Optional: módulo Py‑ReX pirólizador; monitorización de integridad de línea opcional