MiNY PL es un sistema de inspección de obleas de micro LED que utiliza el método de medición de fotoluminiscencia (PL).
MiNY es una marca registrada de Hamamatsu Photonics K.K. (China, UE, Japón, Taiwán, Reino Unido).
Especificaciones
Tamaño de oblea admitido - 100 mm (4 pulgadas) o 150 mm (6 pulgadas) (otros tamaños negociables)
Tiempo de medición -
Aprox. 12 minutos
(Lente objetivo 10×, medición PL, obleas de 4 pulgadas)
Longitud de onda de medición PL - R, G, B
Resolución espacial - 1 μm/píxel (modo estándar), 0,5 μm/píxel (modo de alta resolución)
Elementos de medición - Anomalía de forma, intensidad de PL, longitud de onda de PL
Dimensiones externas / peso - 2000 mm (ancho) × 1878 mm (alto) × 1130 mm (profundidad) / Aprox. 1800 kg
Sala limpia - Compatible
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