Vaporizador líquido LE

de alto rendimientode alto caudal

Vaporizador de líquido de alto caudal y alto rendimiento con canales de flujo y elementos calefactores incrustados en un bloque de aluminio fundido que garantiza la máxima transferencia de calor y la eliminación tanto de los puntos fríos como del riesgo de condensación. Este sistema de control de vaporización de fuente líquida puede funcionar hasta a 300 °C y puede vaporizar hasta 30 g/min de IPA (o equivalente). Características Diseño innovador que maximiza la velocidad de vaporización La nueva boquilla inyectora garantiza una inyección constante de líquido, lo que contribuye a una concentración estable del vapor de salida Todo de acero inoxidable, paso de flujo totalmente barrido para una máxima resistencia a la corrosión y una mínima generación de partículas Compatible con muchos tipos de materiales precursores. Líquido de aplicación - H2O/IPA/TEOS/SiCl4 Póngase en contacto con HORIBA si necesita vaporizar algún material líquido que no aparezca en esta lista. Volumen máximo de vaporización (caudal de gas) - H2O : 10g/min (12.4 SLM) IPA ： 30g/min (11.1 SLM） TEOS : 50g/min（5,3 SLM） SiCl4 ： 130g/min（17.1 SLM）