Evaporador térmico LSC

de procesopara líquido

El sistema de horneado más vendido de HORIBA se ha desarrollado para satisfacer los requisitos de las industrias de alta tecnología actuales. Sin necesidad de un gas portador, el sistema puede proporcionar una vaporización estable de materiales como TEOS (a una velocidad de 600 SCCM) y H2O (a una velocidad de 2 SLM). Para facilitar el acceso, todo el mantenimiento del dispositivo puede realizarse desde la parte frontal de la unidad. Características Gasificación de alto caudal El LSC-A100 proporciona una gasificación estable de materiales como TEOS 600SCCM y H2O 2SLM Todo el mantenimiento del dispositivo puede realizarse en la parte frontal de la unidad Se puede utilizar una PDA tipo PocketPC opcional para supervisar las condiciones de funcionamiento del LSC y para registrar y analizar los registros de funcionamiento. Caudal generado - H2O 2SLM, TEOS 600 SCCM (máx.) Presión de funcionamiento - Máx. 1.33kPa Volumen del depósito de origen 2.7L Método de regulación del calor - Control PID por el regulador de calor Método de detección de la superficie del líquido - Interruptor flotante Regulador de caudal másico interno Válvula de presión de aire Tipo fuelle Materiales en la conexión de líquido y en la zona de contacto con el gas - SUS316L, PFA Temperatura de funcionamiento - 20 a 35°C Entrada externa - Apertura/cierre de la válvula de presión de aire, señal de ajuste del caudal del controlador de caudal másico (0 a 5 V CC/0 a 100% F.S.), señal de parada de emergencia, señal de autocero (opcional) Salida externa Alarma de temperatura, alarma de nivel de líquido H.H., señal de nivel de líquido (H, M, L), señal READY, señal de salida de caudal del controlador másico ((0 a 5 V DC/0 a 100% F.S.), alarma de parada del ventilador interno del baño termorregulado, monitor de tensión de la válvula (opción) Fuente de alimentación CA 100 V, monofásica 50/60 Hz, 1,5 kVA Otros