Equipo de detección de gas IR-400

Monitor de gas de alta calidad para la supervisión del punto final de la limpieza de cámaras El IR-400 ofrece monitorización en tiempo real del punto final de limpieza de la cámara durante el proceso de deposición. Al optimizar el proceso de limpieza, el IR-400 reduce el tiempo de limpieza y el uso de gas. Esta reducción del uso de gas de limpieza conlleva una reducción de los daños en la cámara y aumenta la vida útil de todos los componentes del sistema. Monitorización multigas (compatible con SiF4 yCF4) (IR-422) Alta sensibilidad Función de calentamiento de la célula de gas hasta 180 dec.C Pantalla múltiple Comunicación analógica/digital. Ventajas de la monitorización del punto final en tiempo real con el IR-400 Reduce el tiempo de limpieza de la cámara Reduce el uso de gases de limpieza Proceso de limpieza repetible y predecible Mayor vida útil de los componentes de la cámara