Elemento calefactor para horno de difusión

de siliconade cerámicade poliimida

Los casetes de calibre pequeño están compuestos de almabre de calibre pequeño que se forman en patrones sinusoidales o bobinas de tipo resorte. El calibre pequeño hace referencia al uso de alambre de menor diámetro en la construcción de casetes. Esta configuración es crucial para un control preciso y para el tiempo de respuesta del proceso de difusión. Usos Aplicaciones LPCVD y a baja temperatura: se utilizan cuando se requiere un control preciso de bajas temperaturas. Aplicaciones como LPCVD; polisilicio, nitruro y óxido a baja temperatura. Atmosférico; recocido con H2, curado con poliimida. Aplicaciones de respuesta rápida de temperatura: Ideal para procesos que requieren cambios rápidos de temperatura. Aplicaciones de enfriamiento rápido: Resulta eficiente en aplicaciones que requieren un enfriamiento rápido. Un típico calentador de baja masa consta de: Moldes cerámicos de semi-cilindro con sinuación de alambre incrustada o resortes en espiral. Molde cerámico apoyado con fibra de manta seca para un valor de aislamiento diseñado y una compresión equilibrada. Aislantes y vestíbulo de cerámica moldeados al vacío. Variedades de sujeciones de posición de termopar. Cerraduras de conductores cerámicos en elementos con bus interno. Bloques de alimentación con bus externo. Alambre de calibre medio y pequeño sinuoso, o resorte en espiral en frío con máquinas de precisión. Patrones de curvatura sinuosos típicos de 25 mm y 50 mm. Carcasas exteriores de acero inoxidable o aluminio.