Elemento calefactor para horno de difusión

waferde cerámicapara horno de difusión

Los casetes de difusión Fibrothal®, disponibles en calibres pequeños y grandes, están diseñados y orientados de forma horizontal o vertical según su uso previsto. La elección entre hornos horizontales y verticales está en función de varios factores, incluidos los procesos específicos de fabricación de semiconductores que se usan y los objetivos de la instalación de fabricación. La selección puede verse influida por factores como el tamaño de la oblea, los requisitos del proceso y el flujo de trabajo de fabricación general. En la práctica, en la fabricación de semiconductores se usan hornos tanto horizontales como verticales, y la elección está en función de las necesidades y limitaciones específicas del proceso de fabricación. Cada orientación tiene su propio conjunto de aplicaciones y los fabricantes pueden usar una combinación de ambos tipos de hornos en sus instalaciones de producción. Casetes horizontales Los casetes suelen utilizarse para obleas de El equipo horizontal es bastante manual y la automatización normalmente no se integra en las unidades de fabricación de los clientes. Normalmente, existen de tres a cinco zonas de control para casetes horizontales. Casetes verticales Los casetes suelen utilizarse para obleas de >= 200 mm. El equipo se encuentra altamente automatizado dentro de las unidades de fabricación de los clientes. Normalmente, existen de cuatro a siete zonas de control para casetes verticales.