Robot articulado NTS series
4 ejes5 ejesde manipulación

robot articulado
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Características

Tipo
articulado
Número de ejes
4 ejes, 5 ejes
Funciones
de manipulación
Uso previsto
para sala blanca
Carga máxima

0,7 kg
(1,543 lb)

Radio de acción

1.066 mm
(41,97 in)

Repetibilidad

0,1 mm
(0,0039 in)

Descripción

El robot de la serie NTS puede acceder a 2 y 3 FOUPs de EFEM sin necesidad de una pista. El sistema de accionamiento especialmente diseñado permite al robot moverse con increíble suavidad y gran precisión. La serie cumple la norma SEMI-F47, así como la norma SEMI-S2. Aplicaciones Manipulación de obleas de silicio

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Catálogos

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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.