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Robot articulado TTS series4 ejes5 ejesde manipulación
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Características
- Tipo
- articulado
- Número de ejes
- 4 ejes, 5 ejes
- Funciones
- de manipulación
- Instalación / movilidad
- de suelo
- Uso previsto
- para sala blanca
- Otras características
- de alta velocidad, de alta precisión
- Carga máxima
0,7 kg
(1,543 lb)- Radio de acción
1.066 mm
(41,97 in)- Repetibilidad
0,1 mm
(0,0039 in)
Descripción
El robot de la serie TTS puede acceder a 2 y 3 FOUPs de EFEM sin oruga. El sistema de accionamiento especialmente diseñado permite al robot moverse con increíble suavidad y gran precisión. Además, su rígido mecanismo telescópico proporciona una manipulación de alta velocidad en posiciones altas y bajas.
La serie cumple las normas SEMI-F47 y SEMI-S2.
Aplicaciones
Manipulación de obleas de silicio
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Catálogos
Clean Robot NTS, TTS series
2 Páginas
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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.