Sistema de inspección 3D Kronos™ 1190XR

IAautomáticopara la industria del embalaje

El sistema de inspección de obleas con patrón Kronos™ 1190XR con óptica de alta resolución proporciona la mejor sensibilidad de su clase a defectos críticos para el desarrollo de procesos y la supervisión de la producción en aplicaciones avanzadas de envasado a nivel de oblea (AWLP), incluidos CI 3D y fan-out de alta densidad (HDFO). DefectWise® integra la Inteligencia Artificial (IA) como solución a nivel de sistema, proporcionando un gran impulso en sensibilidad, productividad y precisión de clasificación para hacer frente a los retos del exceso y las fugas de defectos. DesignWise® refina las áreas de inspección FlexPoint™ dirigidas con precisión con entrada directa de diseño para reducir aún más las molestias. El último sistema Kronos 1190XR proporciona eXtended Range al manejar una gama más amplia de grosores de oblea. Compatible con sustratos adheridos, adelgazados, alabeados y cortados en dados, el sistema permite una inspección de defectos rentable de hasta 150 nm en pasos críticos del proceso como la postadhesión, la preadhesión, la creación de patrones de almohadillas de Cu, pilares de Cu, protuberancias, vías de silicio pasantes (TSV) y capas de redistribución (RDL). Aplicaciones Detección de defectos, Depuración de procesos, Supervisión de procesos, Supervisión de herramientas, Control de calidad saliente (OQC) La tecnología de inspección Kronos también está disponible como módulo en la herramienta de clúster de inspección de defectos, metrología y revisión CIRCL-AP, diseñada para mediciones de obleas en toda la superficie de la cara frontal, la cara posterior y el borde.