Perfilómetro 3D Tencor™ P-170

con estiletepara la medición de la rugosidadde mesa

El Tencor P-170 es un perfilador de casete a casete que presenta el rendimiento de medición del sistema de sobremesa líder del sector P-17 y el manipulador HRP®-260 de producción probada. Esta combinación proporciona una solución de bajo coste de propiedad para un sistema basado en manipulador que sirve a las industrias de semiconductores, semiconductores compuestos y afines. El Tencor P-170 admite mediciones 2D y 3D de altura de paso, rugosidad, arco y tensión para exploraciones de hasta 200 mm sin costura. Gracias a la combinación del sensor UltraLite®, el control de fuerza constante y una platina de escaneado ultraplana, se consigue una excelente estabilidad de medición. La configuración de la receta es rápida y sencilla gracias a los controles de la platina de apuntar y hacer clic, las ópticas de vista superior y lateral y una cámara de alta resolución con zoom óptico. El Tencor P-170 admite mediciones en 2D y 3D, con una variedad de algoritmos de filtrado, nivelación y análisis de datos disponibles para cuantificar la topografía de la superficie. Las mediciones están totalmente automatizadas gracias a la manipulación automática de obleas, el reconocimiento de patrones, la secuenciación y la detección de características. Características - Altura de paso: De nanómetros a 1000µm - Fuerza baja con control de fuerza constante: de 0,03 a 50 mg - Escaneado de todo el diámetro de la muestra sin costura - Vídeo: cámara en color de alta resolución de 5MP - Corrección del arco: Elimina el error debido al movimiento de arco del palpador - Software: Interfaz de software fácil de usar - Capacidad de producción: Totalmente automatizada con secuenciación, reconocimiento de patrones y SECS/GEM - Manipulador de obleas: Carga automática de muestras opacas (p. ej., silicio) y transparentes (p. ej., zafiro) de 75 mm a 200 mm Aplicaciones - Altura de paso: altura de paso 2D y 3D - Textura: rugosidad y ondulación en 2D y 3D