Perfilómetro óptico Zeta™-388

3Dcon interferometría de luz blancapara la medición de la rugosidad

El profiler óptico Zeta-388 es un sin contacto, sistema de medida de la topografía de la superficie 3D. Los emplear Zeta-388 la capacidad del Zeta-300 con la adición de un controlador del casete-a-casete para las medidas completamente automatizadas. El sistema es accionado por la tecnología patentada de ZDot™ y la óptica con varios modos de funcionamiento, permitiendo la medida de una variedad de muestras: transparente y opaco, bajo a la alta reflexión, alise a la textura áspera, y a las alturas del paso del nanómetro a los milímetros. El Zeta-388 integra seis diversas tecnologías ópticas de la metrología en un sistema configurable y fácil de usar. El modo de la medida de ZDot™ recoge simultáneamente una exploración de alta resolución 3D y una imagen infinita del foco del color verdadero. Otras técnicas de medida 3D incluyen microscopia del contraste de la interferometría ligera blanca, de interferencia de Nomarski, e interferometría de corte. El espesor del film se puede medir con ZDot o un reflectómetro de banda ancha integrado. El Zeta-388 es también un microscopio de gama alta que se puede utilizar para el estudio de la muestra o la inspección automatizada del defecto. El Zeta-388 apoya el R&D y los ambientes del producto proporcionando altura del paso, aspereza, y las medidas del espesor del film, capacidad de la inspección del defecto, y dirección completas de la oblea del casete-a-casete.