Maquina de tratamiento de superficie por plasma MARCH SPHERE™

para placasautomáticapara oblea

Descripción general
La serie MARCH SPHERE™ agrupa sistemas de tratamiento de superficie por plasma diseñados para maximizar uniformidad, repetibilidad y alto rendimiento en procesos de empaquetado a nivel de oblea (WLP) y a nivel de panel (PLP). Basados en una cámara de plasma simétrica de tres ejes patentada y en control de proceso avanzado, los sistemas SPHERE proporcionan activación de superficie consistente, eliminación de contaminantes y estabilidad de proceso para mejorar el rendimiento y la adhesión en etapas posteriores.

MARCH ExoSPHERE
ExoSPHERE está optimizado para procesamiento a nivel de panel y sustratos de gran superficie. Su arquitectura de cámara simétrica ofrece activación y limpieza uniformes en amplias superficies, reduciendo vacíos en el underfill y mejorando los resultados adhesivos. La plataforma admite múltiples formatos de producto e integración en líneas automatizadas o producción independiente. La gestión de plasma SMARTTune™ permite configuración rápida y operación estable para minimizar tiempos de inactividad.

• Ideal para: procesamiento a nivel de panel (PLP)
• Aplicaciones: preparación para underfill, activación de superficie, eliminación de contaminación
• Formatos admitidos: paneles, carriers, tiras, bandejas JEDEC/Auer® y fijaciones similares

MARCH StratoSPHERE
StratoSPHERE está orientado a la producción a nivel de oblea y soporta obleas de hasta 300 mm. La simetría de la cámara y el confinamiento del plasma proporcionan alta uniformidad y repetibilidad en las obleas. El sistema incluye configuraciones modulares, manejo avanzado de obleas y capacidad de cambio rápido para un procesamiento eficiente en volúmenes altos.

• Ideal para: procesamiento a nivel de oblea (WLP)
• Aplicaciones: limpieza de obleas, descum/decapado de fotorresiste, preparación de superficie, patrón dieléctrico
• Tamaño de oblea soportado: hasta 300 mm (12 pulgadas)

Capacidades clave y beneficios

• Cámara de plasma simétrica de tres ejes (patentada) para tratamiento uniforme y repetibilidad
• Alto control de proceso y SMARTTune™ para configuración rápida y operación estable
• Automatización modular lista para producción e integración flexible en líneas automáticas
• Tiempos de ciclo cortos y alto rendimiento para mejorar el rendimiento y reducir la variabilidad
• Compatibilidad con múltiples sustratos: paneles, obleas, carriers, tiras, bandejas JEDEC/Auer®
• Aplicaciones: activación de superficie, mejora de adhesión, eliminación de contaminantes, preparación para underfill, descum/decapado de fotorresiste, patrón dieléctrico

Especificaciones técnicas

• Serie: MARCH SPHERE™
• Arquitectura de cámara: cámara de plasma simétrica de tres ejes (patentada)
• Control de proceso: SMARTTune™
• Formatos admitidos: paneles, obleas, carriers, tiras, bandejas JEDEC/Auer®
• Soporte de obleas: hasta 300 mm (12 pulgadas) (StratoSPHERE)
• Configuraciones: modulares y escalables para producción WLP y PLP
• Aplicaciones principales: activación de superficie, eliminación de contaminantes, mejora de adhesión, preparación de underfill, descum/decapado de fotorresiste, patrón dieléctrico