Alineador de máscara de mesa 200

El alineador de máscaras modelo 200 de OAI es un alineador de máscaras rentable y de alto rendimiento que ha sido diseñado con componentes probados en la industria que han hecho de OAI un líder en la industria de equipos de fotolitografía. El modelo 200 es un alineador de máscaras de sobremesa que requiere un espacio mínimo de sala limpia. Ofrece una alternativa económica para la investigación y el desarrollo, o para la producción piloto a escala limitada. Utilizando un innovador sistema de nivelación con cojinetes de aire y mandriles de vacío, el sustrato se nivela rápida y suavemente, para una alineación paralela de la máscara fotográfica y un contacto uniforme en toda la oblea durante la exposición por contacto. El sistema es capaz de alcanzar una resolución de una micra y una precisión de alineación. El módulo de alineación cuenta con conjuntos de inserción de máscaras y mandriles para obleas de cambio rápido que facilitan el uso de una variedad de sustratos y máscaras sin necesidad de herramientas especiales para su reconfiguración. El módulo de alineación incorpora micrómetros para los ejes X, Y y Z. El alineador de máscaras modelo 200 cuenta con una fiable fuente de luz UV OAI que proporciona luz UV colimada en UV cercano o profundo utilizando lámparas de entre 200 y 2000 vatios de potencia. Los bucles de retroalimentación óptica de doble sensor están vinculados al controlador de intensidad constante para proporcionar un control de la intensidad de exposición dentro de ±2% de la intensidad deseada. Se pueden realizar cambios en la longitud de onda UV de forma rápida y sencilla. Este alineador de máscaras es una solución flexible y económica para cualquier aplicación básica de alineación de máscaras y exposición UV.