Achaflanadora eléctrica GC-TD804

de mesade precisiónpara obleas

Introducción del producto
Esta máquina está diseñada para el chaflanado de bordes de obleas de carburo de silicio. Es compatible con obleas de 4, 6 y 8 pulgadas y admite el mecanizado de la superficie OF. Está disponible de forma opcional la función de mecanizado de ranura NOTCH. El sistema cuenta con doble estación de trabajo para mantener un flujo continuo y operación estable.

Parámetros del producto (tabla)
Tamaño y peso del equipo: 2.250 (L) * 1.650 (W) * 2.600 (H) mm; 3.000 kg
Tamaño de obleas: 4 / 6 / 8 pulg.
Grosor de obleas: 300 μm–1.500 μm
Estación de trabajo: doble estación
Forma de superficie de referencia de la oblea: OF / Notch (Notch opcional)
Tamaño del equipo: 2.250 (W) * 1.650 (D) * 2.600 (H) mm
Precisión de los ejes X/Y/Z: ±1 μm
Precisión planar de las ventosas cerámicas: ≤3 μm
Precisión axial y radial del extremo del husillo del banco de rectificado: ±1 μm
Precisión axial y radial del husillo de la muela: ±1 μm
Diámetro exterior de la muela: Φ202 mm
Diámetro interior de montaje de la muela: Φ30 mm
Espesor de la muela: 20 mm
Velocidad de la muela: 0–4.000 r/min (según demanda del cliente)
Velocidad de la muela Notch: 0–100.000 r/min (según demanda del cliente)
Tipos de muela: T, R, TT, RR, TR, etc.
Medición de grosor de oblea (sin contacto o por contacto): repetibilidad ±2 μm; punto de medición: centro
Método de limpieza: limpieza rotatoria
Método de secado: secado centrífugo
Sección de carga/descarga: cajas: 4; ranuras: 25 (ajustables)

Características / Especificaciones técnicas

• Aplicación: chaflanado para obleas de carburo de silicio, compatible con 4/6/8 pulg.
• Funciones opcionales: mecanizado de superficie OF, ranura NOTCH opcional
• Diseño de doble estación para soportar carga/descarga continua
• Precisión: ejes X/Y/Z ±1 μm; planitud de ventosas cerámicas ≤3 μm
• Muela: Ø202 mm exterior, Ø30 mm orificio de montaje, 20 mm de espesor
• Rangos de velocidad configurables: muela 0–4.000 r/min; muela Notch hasta 100.000 r/min
• Medición de grosor: punto central, repetibilidad ±2 μm
• Proceso: limpieza rotatoria y secado centrífugo tras el rectificado
• Carga/descarga: 4 cajas con 25 ranuras ajustables