Sistema de automatización de procesos WTA9000L/ul

Proceso : ● Se adapta a las obleas de silicio M2 (156,75), M4 (161,75), G1 (158,75), M6 (166), M10 (182), M12 (210) y 230 mm ● Compatible con diferentes marcas de equipos de texturización de obleas y de eliminación de PSG Características : ● Entrada: Cassette o Stack ● Salida: tipos de casete ● Pesaje opcional de alta precisión, craqueo, tamaño, detección de fragmentos ● Opcional partido 5,6,8, 10 carriles ● Soporte opcional interfaz MES y función de depuración remota estadísticas OEE y análisis de consumo de energía ● Interfaz inteligente IGV opcional