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Sistema de automatización de procesos HIT
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Características
- Especificaciones
- de procesos
Descripción
Proceso :
● Se adapta a obleas de silicio de M2 (156,75), M4 (161,75), G1 (158,75), M6 (166), M10 (182), M12 (210) y 230 mm
● Compatible con diferentes tamaños de equipos de PECVD de tubo y equipos de PECVD de placa Adecuado para el proceso HJT
Características :
● Carga y descarga: Cassette
● Salida: caja portadora de grafito
● Prueba PL opcional
● Sala limpia clase 1000
● Función de limpieza automática de la caja portadora
● Soporte opcional función MES y función de diagnóstico remoto
● Interfaz inteligente IGV opcional
● Función de análisis de máquinas inteligentes, estadísticas OEE y consumo de energía
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