Procesado en húmedo de obleas / sustratos / máscaras
Limpieza, Revelado, Decapado, Grabado, diversos procesos químicos incl. Piraña, HF, SC1 y SC2, Megasonic y Alta presión
Versión autónoma y de banco húmedo
Tamaño máx. de oblea:Ø 12" (Ø 300 mm) / Ø 600 mm / Ø 750 mm
Mandriles personalizados
200 recetas programables
* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.