Sistema de microgrupos totalmente automatizado para estaciones de proceso, p. ej.
Decapado
Bobinadora
Revelador
Lift-Off
Planchas calientes, frías y de imprimación
Horneado UV
Tamaño máx. de oblea Ø 6"~ Ø 8" ((Ø 150 ~ Ø 200 mm)
Tamaño máx. del sustrato: 150 mm x 150 mm (6" x 6")
Diseño modular para hasta 6 estaciones de proceso
* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.