Amplificador de tensión ECA

de conmutaciónde alta tensiónbipolar

Aplicación típica: Manipulación de materiales con accionamiento electrostático,Procesamiento de obleas semiconductoras,Transferencia no mecánica de láminas planas u otros materiales procesados sensibles a la manipulación mecánica La serie ECA son amplificadores de alta tensión para mandriles electrostáticos (E-Chuck, ESC). Además de la conmutación de polaridad y la puesta a tierra forzada, esta serie también ofrece un sistema de monitorización de obleas para las necesidades de inspección de obleas. Además, con una amplia gama de tensiones, la serie es compatible con mandriles electrostáticos Coulomb y Johnsen-Rahbek. Características y ventajas: Detección fiable del estado de sujeción/liberación mediante sensor de obleas Rápida respuesta del diseño de la arquitectura del amplificador (diseño "sin inversión de polaridad del relé" para una alta fiabilidad y larga vida útil) "Control independiente de doble canal (opción)" y "ajuste de tensión de toma central (opción)" para diversas operaciones de sujeción/liberación Equipado con interfaz digital LAN, USB, RS-232C Filtro RF de paso bajo incorporado (13,56 MHz) TC opcional Predisposición de toma central 0 a ±[tensión de tasa máxima - punto de ajuste de tensión] Opcional ET Interfaz Ethernet CAT Opcional DS Control independiente de doble canal Opcional AC Entrada AC 100V a 240V 1 φ Opcional L7 Cable de alta tensión de salida 7m x 3 (2 cuando se selecciona CT o DS)