·Diseño de conducto de doble fuente para una conmutación rápida.
·Control preciso de la deposición de películas finas a nivel atómico.
·Diseño modular del panel de distribución de aire, lo que facilita el mantenimiento.
* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.