·Rendimiento: 600 unidades/lote, 14 400 unidades/h (oblea de 210 mm); 720 unidades/lote, 17 280 unidades/h (oblea de 182 mm);
·Compatible con el pulido por grabado de la cara posterior y el proceso de texturización monocristalina de la cara posterior;
·Apto para diversos aditivos;
·Espesor de oblea de hasta 120 μm;
·Con zona de limpieza en seco y sistema de autolimpieza;
·Cambio rápido de baño en línea;
·Compatible con MES y sistema RFID; prueba de peso en línea opcional.
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