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Máquina de limpieza de inmersión RCAautomáticapara obleas
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Características
- Tecnología
- de inmersión
- Modo de funcionamiento
- automático
- Aplicaciones
- para obleas
Descripción
· Rendimiento: 400 unidades/lote, 9600 unidades/h (oblea de 210 mm); 480 unidades/lote, 12 000 unidades/h (oblea de 182 mm).
· Diversas tecnologías de aditivos disponibles.
· Espesor de la oblea de hasta 120 μm.
· Con zona de limpieza en seco y sistema de autolimpieza.
· Cambio rápido de baño en línea.
· Disponible con MES y sistema RFID; prueba de peso en línea opcional.
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