Máquina de deposición PE-CVD PECVD

· Contacto fiable de los electrodos, lo que reduce eficazmente el polvo y la frecuencia de las alarmas de alta frecuencia. · La unidad automática de carga y descarga de barquillas, sencilla y fiable, mejora el espacio de mantenimiento y la comodidad del equipo. · Instalación y mantenimiento de las piezas móviles por un solo lado, lo que reduce el espacio ocupado por los equipos dispuestos espalda con espalda sin afectar al mantenimiento de los mismos. · Mecanismo de empuje de las barcazas de alta velocidad y estable, integrado en un módulo único. · Tecnología patentada de calefacción auxiliar. · Tecnología de recubrimiento rápido. · Software MES y sistema CCC con derechos de propiedad intelectual independientes.