Horno de cocción STS-VCS

de vacío

La serie STS es el resultado de décadas de experiencia en el diseño y fabricación de hornos de bajas partículas. Estos sistemas fiables proporcionan una eliminación completa de los disolventes residuales, distribución uniforme de la temperatura, control de la presión, una atmósfera inerte seca y una gestión y una gestión precisa de las velocidades de calentamiento y enfriamiento. Detalles del producto Características: 1. - Procesamiento al vacío con excelente control de la presión 2. - Temperatura de funcionamiento: de ambiente a 450°C (versión opcional de alta temperatura: de ambiente a 550°Q 3. - Uniformidad de la temperatura: ± 5°C durante la permanencia 4. - Flujo de gas laminar paralelo a las obleas 5. - Ciclos de bombeo y purga para reducir el contenido de O: 6. - Software de gestión de procesos opcional: Módulo compatible con SEMI E5-0308 y SEMI E30-0307 Configuración estándar: 1. - Proceso más rápido: 3.5 horas frente a más de 8 horas 2. - El flujo laminar reduce/elimina las partículas 3. - Menos de 10 ppm de concentración de O: después de 3 ciclos de bombeo y purga 4. - Curado más completo (5 veces menos desgasificación) 5.1,6x a 2x menos de energía y consumo de N: 6. Coste de capital mucho más bajo, 2-3 veces menos CoO 7. Aplicaciones: 1. - Curado de poliimida/PBO 2. - Horneado BCB 3. - Curado de polímeros a baja temperatura 4. - Recocido de cobre 5. - Curado dieléctrico a baja temperatura Sectores 1. - Embalaje avanzado 2. - Sensor de imagen CMOS 3. - Embalaje a nivel de oblea (FOWLP) 4. - Recocido y desgasificación de semiconductores 5. - Dispositivos de RF