Regulador de caudal másico MFC5000

para gasDeviceNetProfiNet

Los controladores de caudal másico de gas de la serie MFC5000 se fabrican de conformidad con las normas SEMI para las aplicaciones pertinentes. El producto ofrece una amplia gama de opciones de comunicación por bus, entre las que se incluyen DeviceNet, ProfiNet, EtherCat e IO-Link. Estas interfaces también pueden personalizarse aún más bajo pedido. El MFC5000 está diseñado para el control de procesos y cuenta con un rango dinámico de 100:1. Controla la presión en un rango de 0,1 a 1 MPa (15 a 150 PSI) y un rango de temperatura compensado de 0 a 50 °C. El dispositivo también puede funcionar en condiciones de vacío.