Platina de posicionamiento de alta precisión HT160 series

verticalmotorizadade rodillos cruzados

- Vacío: todas las gamas HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - Líquido de lubricación hasta 10E-8 / seco hasta 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de horneado 120°C - Disponible en versión magnética - Clase de sala limpia 4 según ISO 14644-1 Opcionalmente configurable: - Selección de material y lubricación por vacío adaptada a la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Versión para sala limpia ISO 14644-1 (hasta clase 1 a petición) - Opcional con controlador FMC400/450 Etapa de elevación precisa para cargas elevadas La etapa de elevación es adecuada para movimientos verticales de alta precisión en condiciones extremas, como en alto vacío, ultra alto vacío. Gracias a su principio de elevación-borde, alcanza sus parámetros a pesar de su baja altura total. La combinación de motorreductores y un husillo de bolas de precisión, con husillo opcional, permite obtener tamaños de paso mínimos con cargas comparativamente altas. Campos de aplicación Posicionamiento de precisión en la industria y la investigación en ultra alto vacío y bajo radiación ultravioleta extrema, alineación de obleas, alineación de cámaras, investigación de materiales, análisis de materiales, microscopía en vacío, línea de haz, acelerador, sincrotrón