Sistema de posicionamiento de un eje 782424:005.26

linealrotativopara inspección de obleas y metrología

Sistema de posicionamiento X Phi para la inspección de obleas, muestras biológicas (sala blanca ISO 5) | eje rotatorio y etapa lineal - Inspección y Microscopía Posicionamiento lineal-rotatorio de alta precisión Este sistema X Phi permite el posicionamiento de muestras (por ejemplo, obleas, muestras biológicas) en un ángulo definido con precisión respecto al sensor o la cámara. Consta de un eje X lineal, la precisa platina lineal estándar PMT160 con husillo de bolas y una unidad rotatoria integrada con recorrido ilimitado, accionada por correas planas.Para que sea apto para salas limpias, las guías de cables tanto del sistema de medición centrado como de la unidad rotatoria móvil se han alojado dentro del recinto del sistema lineal. Los fuelles sellan el sistema desde el exterior para evitar la emisión de partículas. Sistema de posicionamiento sin mantenimiento para salas blancas - Ideal para tareas de inspección en la tecnología de semiconductores, la biotecnología y la industria farmacéutica - Medición de alta precisión con una repetibilidad de hasta 0,3 µm - La excelente planitud de la platina lineal permite una medición de alta precisión del espesor del revestimiento con un solo sensor - Reducción de la emisión de partículas a la clase ISO 5 mediante la carcasa y el fuelle - Funcionamiento continuo industrial sin necesidad de mantenimiento y cambio sencillo del sistema en la placa base Opcionalmente ampliable: - Otras versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta la clase 1 a petición) - Placa base de granito o aluminio - Motores especiales herméticos con homologación farmacéutica - Versiones para condiciones ambientales extremas, por ejemplo, radiación, vacío - Ampliable a la aplicación completa específica del cliente - Uso inmediato con el controlador preconfigurado, incluido el software de ejemplo