Máquina de deposición CVD

La máquina LPCVD, con un proceso maduro y estable, es una de las primeras máquinas para la producción en masa de células TOPcon. Alto rendimiento promedio, buena uniformidad de película Nuestro propio sistema de entrada de aire patentado mejora la uniformidad y controlabilidad del campo de flujo Alto rendimiento el flujo uniforme de aire conduce a una película uniforme y un alto rendimiento. Larga vida útil del tubo de cuarzo: 6 meses de vida útil del tubo de cuarzo gracias al innovador diseño de fijación y al bajo consumo de aire. Zona de temperatura estable: la disposición razonable de los filamentos de calefacción contribuye a una buena consistencia y controlabilidad, resultando en zonas de temperatura estables y controlables.