Perfilómetro óptico Nexview™ LS650

3Dinterferométricode laboratorio

El sistema de metrología Nexview™ 650 es una herramienta de inspección para la medición automatizada de herramientas de moldeo por inyección, placas de circuito impreso, paneles de vidrio y otras muestras que requieren un volumen de trabajo ampliado de hasta 650 x 650 mm. Proporciona mediciones en 2D y 3D de una variedad de características superficiales con una precisión vertical subnanométrica y una precisión lateral submicrométrica. Potente rendimiento La interferometría de barrido de coherencia (CSI) es la tecnología de medición que constituye el núcleo del sistema Nexview™ 650. Esta técnica sin contacto proporciona beneficios de metrología de superficies de alta precisión y alto valor, incluyendo: - Mide prácticamente todo tipo de superficies, desde las rugosas hasta las superlisas, incluyendo películas finas, pendientes pronunciadas y grandes escalones. - La precisión de la medición subnanométrica es independiente del aumento del campo - Rendimiento con capacidad de calibre: precisión y repetibilidad excepcionales para las aplicaciones de producción más exigentes. - Tecnología de tolerancia a las vibraciones SureScan™: funcionamiento robusto en prácticamente cualquier entorno. - El software Mx™ permite el intercambio de datos sin fisuras con otros perfiladores ZYGO, incluidos ZeGage™ Pro, NewView™ 9000 y Nexview™ NX2.