Evaporadores de proceso HORIBA

... La serie MV-2000 consigue una vaporización estable, incluso a bajas temperaturas, utilizando el nuevo método de flujo tornado. Esto es adecuado para la vaporización de una gama de líquidos, incluso fuentes difíciles como "High-k", una fuente líquida que ...

... El sistema de horneado más vendido de HORIBA se ha desarrollado para satisfacer los requisitos de las industrias de alta tecnología actuales. Sin necesidad de un gas portador, el sistema puede proporcionar una vaporización estable de materiales como TEOS ...

... en diversas posiciones Los modelos más vendidos del sistema de vaporización TEOS Combina SEF o LF, y es posible el control digital No es necesario un tanque de burbujeo o de vaporización especial Gama de modelos DeviceNetTM Conformidad ...

... continuación se describen los principales pasos necesarios para vaporizar una fuente líquida y suministrarla a la cámara de proceso. 1. Se mide el caudal de la fuente líquida y se retroalimenta la cantidad de líquido controlada por la ...

... El proceso de deposición química orgánica de vapor metálico (MOCVD) se utiliza ampliamente en la fabricación de LED, dispositivos ópticos y otros componentes. Los precursores líquidos y sólidos se suministran a la cámara de reacción controlando ...

... conlleva un mayor tiempo de actividad, una menor manipulación por parte del operario y un menor riesgo de contaminación del proceso. La Serie LU incluye una función para implementar automáticamente una secuencia de purga de líquido restante. Con ...