Descripción del productoProporciona alimentación CC para el electropulido de obleas de 300 mm en la fabricación de semiconductores. Fuente CC OEM de 6 canales en un paquete único que contiene seis fuentes de 600 W. Controlador autónomo que funciona de forma independiente una vez preconfigurado.
Características clave- Fuente CC OEM de 6 canales
- Ensamblaje en paquete único con seis fuentes de 600 W
- Controlador autónomo — opera independientemente una vez ajustado
- Admite rampas y secuencias
- Capacidad de funcionamiento dependiente entre canales
- Interfaz DeviceNet
- Conmutación de polaridad en estado sólido
Especificaciones técnicas- Canales: 6
- Potencia por canal: 600 W
- Configuración: paquete único de 6 fuentes
- Control: controlador integrado con secuencias y rampas programables
- Comunicación: DeviceNet
- Conmutación de polaridad: estado sólido
Aplicaciones- Electropulido de obleas de 300 mm
- Procesamiento de películas delgadas y acabado de superficies
- I+D y líneas de producción de semiconductores
Interfaces y control- Comunicación DeviceNet para integración con la automatización de fábrica
- Rampas, secuencias y dependencia entre canales programables para procesos complejos
- Conmutación de polaridad en estado sólido para cambios de polaridad rápidos y fiables