Máquina de recubrimiento al vacío antirreflejo SYRUSpro series

reflectante

Resumen
La serie SYRUSpro de Bühler Leybold Optics es una recubridora al vacío para óptica de precisión diseñada para la producción continua 24/7 de filtros ópticos en los rangos espectrales DUV, VIS e IR. Ofrece soluciones configurables para especificaciones de recubrimiento exigentes y producción de alto rendimiento.

Ventajas clave

• Diseñada para aplicaciones exigentes: Cumple especificaciones estrictas en IR, DUV y regímenes de longitudes de onda extremas.
• Ajustada a su proceso: Amplia selección de componentes de alta calidad para configurar la máquina según los requisitos del proceso.
• Máxima flexibilidad: Ocho tamaños de cámara para adaptarse a capacidades de carga y dimensiones de sustrato.

Características destacadas

• Opciones de cámara: Ocho tamaños de cámara con diámetros interiores de 710 mm a 2800 mm para ajustarse a la carga y tamaño del sustrato.
• Opciones de recubrimiento: Soporta filtros de borde (short/long pass), filtros corte UV/IR, notch y filtros de banda estrecha, filtros dicroicos, divisores de haz de polarización, recubrimientos AR y HR para láseres y otros recubrimientos ópticos especializados.
• Flexibilidad de componentes clave: Configurable con monitorización óptica in-situ, fuentes de plasma, amplia gama de evaporadores por haz de electrones y térmicos, medición por cristal de cuarzo (QCM) y múltiples sistemas de sujeción de sustratos.

Otras prestaciones

• Automatización: Control de proceso avanzado que combina alta flexibilidad de programación con niveles elevados de automatización para producción continua eficiente.
• Optimización DUV: Opciones de superficies de cámara tratadas, materiales seleccionados y configuraciones de componentes a medida para recubrimientos de baja pérdida en fotolitografía 193 nm.
• Aplicaciones IR: Adaptaciones para gran consumo de material IR, garantizando excelente rendimiento de capa y uniformidad en sustratos planos y muy curvados.
• Personalizable: Bühler Leybold Optics colabora con clientes para especificar configuraciones que cumplan requisitos de calidad, eficiencia y fiabilidad.

Descargas

• Folleto Precision optics (PDF)
• Datos técnicos: Syruspro series (PDF)

Características / especificaciones técnicas

• Serie / modelo: SYRUSpro
• Aplicación: producción en volumen de filtros ópticos 24/7
• Rangos espectrales: DUV, VIS, IR
• Tamaños de cámara: 8 opciones; diámetros interiores 710 mm a 2800 mm
• Tipos de recubrimiento soportados: filtros de borde, corte UV/IR, notch, banda estrecha, filtros dicroicos, divisores de haz polarizados, AR/HR para láseres, etc.
• Componentes configurables: monitorización óptica in-situ, fuentes de plasma, evaporadores electrónico y térmico, QCM, sistemas de sujeción de sustratos
• Control y automatización: control de proceso avanzado con alta flexibilidad de programación para producción continua
• Optimización DUV: tratamientos de superficie y materiales seleccionados para recubrimientos 193 nm de baja pérdida
• Capacidad IR: configurado para alto rendimiento de material IR y uniformidad en substratos planos y curvados